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半導體設(shè)備濾芯
簡要描述:
半導體設(shè)備濾芯是用于半導體設(shè)備中對進入或排放的氣體或液體進行過濾和凈化的關(guān)鍵部件。它能夠有效過濾微小顆粒、液滴和氣味,并能去除空氣和水分中的各種雜質(zhì)和污染物,保護設(shè)備和制品的純度和品質(zhì)。
更新時間:2024-11-05
訪問量:2017
品牌 | 博宇環(huán)保 | 主體材質(zhì) | 碳鋼 |
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濾料類型 | 活性炭 |
半導體設(shè)備濾芯是用于半導體設(shè)備中對進入或排放的氣體或液體進行過濾和凈化的關(guān)鍵部件。它能夠有效過濾微小顆粒、液滴和氣味,并能去除空氣和水分中的各種雜質(zhì)和污染物,保護設(shè)備和制品的純度和品質(zhì)。
半導體行業(yè)作為高科技領(lǐng)域的重要組成部分,涉及到多個環(huán)節(jié),其中制造環(huán)節(jié)尤為重要。在半導體芯片制造過程中,各種工藝步驟都需要使用高純度的氣體和液體,而這些關(guān)鍵材料的純度直接決定了芯片的品質(zhì)和性能。因此,對進入制造設(shè)備的氣體和液體進行過濾和凈化,是確保產(chǎn)品品質(zhì)和工藝穩(wěn)定性的重要保證。
半導體設(shè)備濾芯原理:
過濾器工作時,待過濾的水由水口進入,流經(jīng)濾網(wǎng),通過出口進入用戶所須的管道進行工藝循環(huán),水中的顆粒雜質(zhì)被截留在濾網(wǎng)內(nèi)部。如此不斷的循環(huán),被截留下來的顆粒越來越多,過濾速度越來越慢,而進口的污水仍進入,濾孔會越來越小,由此在進、出口之間產(chǎn)生壓力差,當大度差達到設(shè)定值時,差壓變送器將電信號傳送到控制器,控制系統(tǒng)啟動驅(qū)動馬達通過傳動組件帶動軸轉(zhuǎn)動,同時排污口打開,由排污口排出,當濾網(wǎng)清洗完畢后,壓差降到小值,系統(tǒng)返回到初始過濾狀,系統(tǒng)正常運行。過濾器由殼體、多元濾芯、反沖洗機構(gòu)、和差壓控制器等部分組成。
殼體內(nèi)的橫隔板將其內(nèi)腔分為上、下兩腔,上腔內(nèi)配有多個過濾芯,這樣充分了過濾空間,顯著縮小了過濾器的體積,下腔內(nèi)安裝有反沖洗吸盤。工作時,濁液經(jīng)入口進入過濾器下腔,又經(jīng)隔板孔進入濾芯的內(nèi)腔。大于過濾芯縫隙的雜質(zhì)被截留,凈液穿過縫隙到達上腔,后從出口送出。
半導體設(shè)備濾芯的類型和種類繁多,涉及到多種材質(zhì)和過濾原理。常見的濾芯包括機械濾芯、活性炭濾芯和超精濾芯等。其中,機械濾芯利用過濾網(wǎng)和纖維材料過濾顆粒和液滴,適用于顆粒大小較大的氣體和液體過濾?;钚蕴繛V芯采用吸附原理去除雜質(zhì)和氣味,適用于凈化空氣和不易被捕捉的氣體或液體。超精濾芯則是使用微孔石英或鋯石等特定材料,過濾顆粒和液滴細小到納米級別,可用于高純度氣體和液體的制造和輸送。
在半導體設(shè)備中,濾芯的作用與價值不言而喻。半導體芯片的制造過程需要用到諸多高純度氣體和液體,如制作硅片時用的氣體,制作光刻膠時用的液體及氣體等等,若其中出現(xiàn)一些微小顆粒、煙灰甚至是空氣雜質(zhì),就可能影響制造質(zhì)量及成品的性能,因此在這個過程中使用濾芯是非常必要的。
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